碰口施工
在碰口点1 处，采用机械切割方式对pe 管切割1 个小口，
小口处未发生燃烧或喷涌现象即可进行切割断管，后按
施工方案进行碰口施工，检查焊接直至合格。同理进行碰
口点2、3 处的碰口施工。施工完成后，开始进行氮气置换空气
作业。
氮气置换空气
首先关闭新建管道上x1、x1-1、x2 、x2-1、x3 阀门，然
后分三部分依次进行置换。
置换在运干管 ：关闭zf1、zf2 阀门，依次开启放散点4 的
火炬放散阀、调压器进口阀门、gf1-1 阀门，开始注氮，直至检
测合格后关闭前述开启的阀门。
置换新建管道 ：在x1-1( 放散点5)、x2-1( 放散点6) 放散
阀处连接放散火炬，依次开启放散点5 的火炬放散阀、x1-1、
x3、gf1-1 后开始注氮，直至检测合格后关闭前述开启的阀
门 ；打开放散点6 的火炬放散阀、x2-1、x3、gf1-1，直至检测
合格后关闭前述开启的阀门。
(3) 置换在运支管 ：对支管2 进行置换，依次开启放散点3
的火炬放散阀、调压器进口阀门、zf2、gf1-1 后开始注氮，直
至检测合格后关闭前述开启的阀门 ；同理对支管1 进行置换。
完成后，方可进行置换氮气作业。
天ran气置换氮气
同 5.4，管道氮气置换，本步骤分三部分依次进行置换。
置换在运干管 ：依次开启放散点4 的火炬放散阀、调压器
进口阀门，缓慢开启gf1 阀门并控制压力和流速，直至检测合
格后关闭调压器进口阀门，按程序拆除放散火炬并恢复放散口
原貌，完全开启gf1 阀门。
气体管件在安装时，管道置换氮气，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接---好以轨道式焊接法（orbital welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的气，这样可以---连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，长输管道氮气置换，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有vcr 和swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，vcr式的接头主要用在制程气体以及危险气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（gasket）将会适度变形以---管路每秒低于10 -9cc的---气泄漏率（leakage rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合---或气体---。swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及cda等气体的传输上，燃气管道氮气置换氧含量，因为这些气体可以容许一定的---率，所以不常用成本较高且须焊接的vcr式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的危险气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
1、应按设计文件要求，在管道安装完成、热处理、无损检测、水压试验、管道干燥合格后方能进行管道置换工作
2、氮气置换前，应由建设/监理单位、施工单位和---对下列资料进行---;
(1) 管道组成件、焊材的制造厂证明书;
(2) 管道组成件、焊材的校验性检查或实验记录;
(3) sh---管道弯管加工记录、管端的螺纹和密封加工记录;
(4) 管道系统隐蔽工程记录；
(5) 符合要求的单线图、pi&d工艺流程图;
(6) 无损检测报告;
(7) 压力试验报告
(8) 合格单
(9) 设计变更及材料代用文件。
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