作为半导体晶圆代工厂气体的使用者，每一位工作人员都应该在使用前对各种危险气体的安全数据加以了解，并且应该知道如何应对这些气体---时的紧急处理程序。一般来讲，我们将有三重保障来防范万一有意外发生的危险气体---进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路；第二个是持续不断的排气抽风系统（exhaust），管路节点如气瓶柜、vmb、工作台等均具有很强排气抽风系统，以---每一管路节点---都处于负压环境。若发生微量的有毒气体的泄漏，排气抽风系统将------时间抽出；另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统，若发生任何有毒气体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到，这个控制系统将根据气体---对人体危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作，管道氮气置换，---时紧急关闭上游所有气源，同时会驱动中央控制室和现场的相关报警系统lau，甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散，要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程---严格按照所制定的标准作业程序操作，所有这些安全装置都将---人员不会有安全上的顾虑。
1 升压过程中氮气浓度对置换安全性的影响
为提高管道置换氮气的安全性，待氮气置换完成
后，施工人员应对管道进行升压，终完成氮气置换的过程。在
此过程中，如管道发生泄露，导致管道中的氮气浓度下降，容易
导致“窒息”等危险发生。此外，如管道超压，则可引发爆管。根
据<氮气使用安全管理规范>的要求，升压的过程中，施工人员
需对氮气对施工人员的危害、氮气排放区域等因素进行评估。
如未进行评估便着手施工，因氮气浓度不合理所导致的风险则
较容易发生。
3.2 升压过程险的预防
升压过程中，施工人员应加强防护，管道氮气置换方案，严格控制速度，提高风
险预防水平 ：(1) 加强防护 ：施工人员应穿戴好防护用品，---
氮气浓度过高时，能过实现对自身安全的保护。(2) 控制速度 ：
为避免管道中的氮气发生泄露，导致氮气浓度降低，应将置换
速度控制在3m/s 至6m/s 之间，减少安全---。(3) 加强---：施
工人员应加强---，一旦发现漏点，需立即停止作业并予以处
理，---管道中的氮气浓度达标。
4 结语
综上所述，管道置换氮气的过程中，氮气体积占混
合气体体积的比例应＞98%。置换的过程中，施工人员应穿戴
好防护用品，长输管道氮气置换，将注入速度控制在3 ～5m/s，将注氮温度控制在
5 ～15℃。在此基础上，管道氮气置换，加强---、清除明火，提高氮气注入的
安全性，提高置换过程的安全性。
设计者应对“ 用户 ， 提出的设计要求进行 重新估价 ， 力求在技术上可行 ， 经济上合理 ， 对老管网 的改造工 程 还要 因地制宜 ， 考虑走 向合理和施工方便 上无十四厂的高纯气体 输送系统改造工程 由子技术夹层无法穿越管 道和进行焊接施工 ， 即采 用外墙 面敷设和 工 艺室 明管安装 、 尽管管道长了 ， 但施工方便和 焊接上的--- ， 达到 了改造 的予 期 效果 对 于部分老 管道 、 材--- 、 能置换干净而气密性 又好的就不该一律废 除 ， 但无论 是新老 管道 其方案设计的终都应该满足下列要求 、 系统可 靠 ， 能稳定供应和 输送高纯度 气体 ， 整个系统应该 防振动 ， 不 易 被 污染 ， 气 密性要妊、 能连续运行、 留有一定余量 采用 液 态输送则要---气源 充足 ， 若用 钢瓶气则要 ---钢瓶周转余地 、 有高度 的安全性 。 由于 洁净厂 房多 数是无窗厂房 生产 中消耗可 燃性气体和 溶齐咬又多 ， 因此输送系统的安全性---重要 。
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