lng 储罐 干燥和置换一般采用连续干燥及置换或是压涨式两种方法,管道氮气置换,前者是指在置换过程中以充入的氮气量与 排放 量保挎相同,燃气管道氮气置换,使储罐在置换过程中保持罐内压力基本不变化。压涨 式是指先关闭罐的排放阀,燃气管道氮气置换氧含量, 往罐 内 充 一 定压力的 氮气 ,断开充氮 ,打开饿的 排放阀 泄压 ,至一定压力 后再关闭 排放 ,打开氮气人 口充压 ,反复进行 此工作。tl 203 储罐主要采用连续干燥及置换的方法进行施工。
根据上游供气能力、管径及流速 , --- 出每小时的供气量。投产时控制流量 , --- 管道中流速不大于 5 m/ s。 根据---的混气头到达各阀室和场站的时间 , 提前在下游的阀室和场站进体检测 , 先用便携 式含氧量分析仪在主管道上检测氮气含量 ,管道氮气置换, 当检测 到纯氮气时 , 立即对放空和排污管线进行氮气置 换。然后再接着采用量程为 0~100 %的便携式可 燃气体检测仪对氮气与混气段进行检测 , 当 氮气与混气段通过检测地点时 , 混气段的天 ran气含量将从 0 逐渐上升 ,
作为半导体晶圆代工厂气体的使用者,每一位工作人员都应该在使用前对各种危险气体的安全数据加以了解,并且应该知道如何应对这些气体---时的紧急处理程序。一般来讲,我们将有三重保障来防范万一有意外发生的危险气体---进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路;第二个是持续不断的排气抽风系统(exhaust),管路节点如气瓶柜、vmb、工作台等均具有很强排气抽风系统,以---每一管路节点---都处于负压环境。若发生微量的有毒气体的泄漏,排气抽风系统将------时间抽出;另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统,若发生任何有毒气体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到,这个控制系统将根据气体---对人体危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作,---时紧急关闭上游所有气源,同时会驱动中央控制室和现场的相关报警系统lau,甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散,要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程---严格按照所制定的标准作业程序操作,所有这些安全装置都将---人员不会有安全上的顾虑。
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