气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接---好以轨道式焊接法（orbital welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的气，这样可以---连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有vcr 和swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，vcr式的接头主要用在制程气体以及危险气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（gasket）将会适度变形以---管路每秒低于10 -9cc的---气泄漏率（leakage rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合---或气体---。swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及cda等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的---率，所以不常用成本较高且须焊接的vcr式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的危险气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
1 升压过程中氮气浓度对置换安全性的影响
为提高管道置换氮气的安全性，待氮气置换完成
后，施工人员应对管道进行升压，终完成氮气置换的过程。在
此过程中，管道氮气置换，如管道发生泄露，导致管道中的氮气浓度下降，容易
导致“窒息”等危险发生。此外，如管道超压，管道置换氮气，则可引发爆管。根
据<氮气使用安全管理规范>的要求，升压的过程中，施工人员
需对氮气对施工人员的危害、氮气排放区域等因素进行评估。
如未进行评估便着手施工，因氮气浓度不合理所导致的风险则
较容易发生。
3.2 升压过程险的预防
升压过程中，施工人员应加强防护，管道氮气置换方案，严格控制速度，提高风
险预防水平 ：(1) 加强防护 ：施工人员应穿戴好防护用品，---
氮气浓度过高时，能过实现对自身安全的保护。(2) 控制速度 ：
为避免管道中的氮气发生泄露，导致氮气浓度降低，应将置换
速度控制在3m/s 至6m/s 之间，减少安全---。(3) 加强---：施
工人员应加强---，一旦发现漏点，需立即停止作业并予以处
理，---管道中的氮气浓度达标。
4 结语
综上所述，管道置换氮气的过程中，氮气体积占混
合气体体积的比例应＞98%。置换的过程中，施工人员应穿戴
好防护用品，将注入速度控制在3 ～5m/s，将注氮温度控制在
5 ～15℃。在此基础上，管道氮气置换，加强---、清除明火，提高氮气注入的
安全性，提高置换过程的安全性。
试验室气体管路系统包括实验室集中供气系统和室内气瓶供气系统，可以满足您不同等级要求的气体安全使用。中央供气管路系统工程主要是为试/实验室选用的分析设备提供量值和压力稳定的标准气体，---其储存和使用的安全性。保障分析测试人员在实验中免受有毒有害气体的---。按照---要求，将所用全部气体存放于储气间，并实现集中输送，组成中央供气系统。系统采用一拖一、一拖多、多拖一和多拖多的管道式输气方式，在一拖多时能够实现分段控制和在多拖一和多拖多时能够实现切换控制；并能够---标准气体流量、压力稳定和量值传递不发生变化，满足分析检测设备对使用气体的技术要求。
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