作为半导体晶圆代工厂气体的使用者,每一位工作人员都应该在使用前对各种危险气体的安全数据加以了解,并且应该知道如何应对这些气体---时的紧急处理程序。一般来讲,我们将有三重保障来防范万一有意外发生的危险气体---进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路;第二个是持续不断的排气抽风系统(exhaust),管路节点如气瓶柜、vmb、工作台等均具有很强排气抽风系统,以---每一管路节点---都处于负压环境。若发生微量的有毒气体的泄漏,排气抽风系统将------时间抽出;另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统,若发生任何有毒气体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到,这个控制系统将根据气体---对人体危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作,---时紧急关闭上游所有气源,同时会驱动中央控制室和现场的相关报警系统lau,甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散,要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程---严格按照所制定的标准作业程序操作,所有这些安全装置都将---人员不会有安全上的顾虑。
置换新建管道 :依次开启放散点5 的火炬放散阀、x1-1,燃气管道氮气置换,
缓慢开启x3 阀门控制压力和流速,直至检测合格后关闭调压
器进口阀门 ;打开放散点6 的火炬放散阀、x2-1,管道氮气置换,直至检测合
格后关闭调压器进口阀门,按程序拆除放散点5、6 处放散火炬
并恢复放散口原貌,完全开启x3 阀门。
置换在运支管 :对支管2 进行置换,依次开启放散点3 的
火炬放散阀、调压器进口阀门,缓慢开启zf2 阀门控制压力和
流速,直至检测合格后关闭调压器进口阀门,按程序拆除放散
火炬并恢复放散口原貌,完全开启zf2 阀门 ;同理对支管1 进
行置换。完成后,对碰口点、拆卸过的管件进行检漏,确认无泄
漏后方可恢复供气。
恢复供气
开启gf2、gf3、x1、x2 阀门,恢复并网后整个中压管网正
常供气 ;对调压器后的低压管网,严格按照低压系统恢复供气
程序进行恢复供气作业。
置换时,须遵循“先干管后支管,先远后近”的原则,
确定作业关键点。
注氮及氮气置换天ran气(空气)作业关键点确定(1) 注氮点、排氮点( 检测点) 选择。注氮点选择 :对设有站
场的新建城镇管网,注氮点在站场内出站口附近 ;对未建
站场或需检修的城镇管网,注氮点应选择在管网起始端,且便
于停放、通行注氮车的开阔地段。排氮点选择 :对无分支的管
道,排氮点应选择在管道末端 ;对有分支的管道,长输管道氮气置换,排氮点应在
管道末端和分支管道末端分别设置。排氮点处应连接带有取样
检测口的放散火炬。
(2) 注 氮 温 度。注 氮 车 储 备 的 液 氮 温 度 极 低( 常 压 下
为-196℃),直接注入会破坏管材物理化学性质,造成低温脆性
破坏。因此,应升温气化后才能注入管道,注氮温度不低于5℃,管道置换氮气,
以5 ~15℃为宜。
(3) 置换气量估算。根据工作经验,所用的氮气体积少应
为所置换管道容积的1.5 倍,为---置换完全,一般取2 倍较为
安全。
(4) 氮气流速。为避免管内杂质在高速流动的气体带动下
与管壁碰撞产生火花、pe 管中高速气流与管壁摩擦引起静电
积聚,从理论上讲氮气流速越慢越安全,但会导致置换时间过
长。通常按有关规定,控制在5m/s 以内。
(5) 注氮压力。压力过高易导致氮气流速过快而出现湍流
现象,影响置换效果。应在---温度和流量的要求范围内控制
压力,不大于管道的工作压力,操作过程中压力由低到高进行
控制,一般控制在0.1 ~0.2mpa 之间。
(6) 置换时间的估算。置换时间估算式 :
式中 :t 为达到合格标准所需的时间(h) ;v 为需置换管道的
容积(m3
) ;f 为放散孔的截面积(m2
) ;k 为置换系数( 取
2 ~3) ;w 为通过放散孔的气体流速(m/s)。
(7) 氮气浓度检测。氮气置换天ran气或空气时,当管道内n2
体积百分比大于98%(o2 体积含量小于2%),且连续3 次( 每次
间隔不少于5min) 检测口浓度均达到此数值时,氮气置换作业
合格。
管道氮气置换-念龙化工-燃气管道氮气置换由郑州念龙化工产品有限公司提供。“高纯气体生产,标准气体经营,混合气体生产”就选郑州念龙化工产品有限公司,公司位于:郑州市二七区马寨镇东方路7号院内,多年来,念龙化工坚持为客户提供好的服务,联系人:张经理。欢迎广大新老客户来电,来函,亲临指导,洽谈业务。念龙化工期待成为您的长期合作伙伴!
联系我们时请一定说明是在100招商网上看到的此信息,谢谢!
本文链接:https://tztz311544.zhaoshang100.com/zhaoshang/212848107.html
关键词: