作为半导体晶圆代工厂气体的使用者,每一位工作人员都应该在使用前对各种危险气体的安全数据加以了解,并且应该知道如何应对这些气体---时的紧急处理程序。一般来讲,我们将有三重保障来防范万一有意外发生的危险气体---进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路;第二个是持续不断的排气抽风系统(exhaust),管路节点如气瓶柜、vmb、工作台等均具有很强排气抽风系统,以---每一管路节点---都处于负压环境。若发生微量的有毒气体的泄漏,排气抽风系统将------时间抽出;另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统,若发生任何有毒气体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到,这个控制系统将根据气体---对人体危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作,---时紧急关闭上游所有气源,同时会驱动中央控制室和现场的相关报警系统lau,甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散,管道氮气置换,要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程---严格按照所制定的标准作业程序操作,所有这些安全装置都将---人员不会有安全上的顾虑。
置换时,须遵循“先干管后支管,先远后近”的原则,
确定作业关键点。
注氮及氮气置换天ran气(空气)作业关键点确定(1) 注氮点、排氮点( 检测点) 选择。注氮点选择 :对设有站
场的新建城镇管网,注氮点在站场内出站口附近 ;对未建
站场或需检修的城镇管网,注氮点应选择在管网起始端,且便
于停放、通行注氮车的开阔地段。排氮点选择 :对无分支的管
道,排氮点应选择在管道末端 ;对有分支的管道,排氮点应在
管道末端和分支管道末端分别设置。排氮点处应连接带有取样
检测口的放散火炬。
(2) 注 氮 温 度。注 氮 车 储 备 的 液 氮 温 度 极 低( 常 压 下
为-196℃),直接注入会破坏管材物理化学性质,造成低温脆性
破坏。因此,应升温气化后才能注入管道,注氮温度不低于5℃,
以5 ~15℃为宜。
(3) 置换气量估算。根据工作经验,所用的氮气体积少应
为所置换管道容积的1.5 倍,为---置换完全,一般取2 倍较为
安全。
(4) 氮气流速。为避免管内杂质在高速流动的气体带动下
与管壁碰撞产生火花、pe 管中高速气流与管壁摩擦引起静电
积聚,从理论上讲氮气流速越慢越安全,但会导致置换时间过
长。通常按有关规定,控制在5m/s 以内。
(5) 注氮压力。压力过高易导致氮气流速过快而出现湍流
现象,影响置换效果。应在---温度和流量的要求范围内控制
压力,不大于管道的工作压力,操作过程中压力由低到高进行
控制,一般控制在0.1 ~0.2mpa 之间。
(6) 置换时间的估算。置换时间估算式 :
式中 :t 为达到合格标准所需的时间(h) ;v 为需置换管道的
容积(m3
) ;f 为放散孔的截面积(m2
) ;k 为置换系数( 取
2 ~3) ;w 为通过放散孔的气体流速(m/s)。
(7) 氮气浓度检测。氮气置换天ran气或空气时,当管道内n2
体积百分比大于98%(o2 体积含量小于2%),且连续3 次( 每次
间隔不少于5min) 检测口浓度均达到此数值时,氮气置换作业
合格。
施工 过程分析
(i)临时液氮气化系统在安装时选定位置应该尽可能的接
近储罐系统的氮气接入口,燃气管道氮气置换,尽量减小现场安装及拆除的工作量, 同时需要考虑、方便液氮的卸车g
(2) 在向储罐充入氮气时,由于提高了临时液氮气化系统出口流慧与压力,但储罐内的压力却上升较慢,后查找原因时发现是管线上的国外进口双板止回阀的阀体结构比较特殊,原管 线是4in 的管径,但此4in 双板止回阀内部通过口处的尺寸大约仅有 2in 大,现场对此进行切割取消此阀门后问题得到处,理
(3)临时液氮气化系统用液出气量及压力控制需要计算合适,管道氮气置换,以确定现场需要液氮符贮设备数量与体和、、蒸发器的气化量
选定、加热器的选定等,此部分分析时需要与现场置换储罐系统等的总体积相遥合,---在干燥和置换时氮气的流量与压力可 以方便的持续调节e
(4) 现场使用仪及氧含量分析仪进行检 测置换情况时,其结果与接收站化验室的进行对比分析发现有一定偏差,分析原因为现场所用仪器是标定过期设备,此结果仅可做参考使 用.终结果后改为化验室测量数据为准,并经过相关各方责任 人共同确认。
5 . 2 施工过程蚊据分析
本次储罐系统干燥和置换的重点与难点主要在于储罐 系统 a~d 四个区的氮气干燥和置换,其中 a 区中的内罐罐体空间处为重要,因为此处 a 区为 装一158. 7~-161. 9℃的低温lng 介质。针对此a 区处的数据做一些分析,如 i到 3 为tl 203 储罐的八区 氧含母、、压力曲线图。
从t i 203 储罐的a 区氧含量、、压力曲线三图中可以分析得出:当流量相对稳定时,燃气管道氮气置换方案,前期干燥与置换时压力的升高与 降低影响着氧含量、的降低的速度较大,后期随着氧含量、的降低到逐渐趋于平稳保持在一定范围设定值后,范围内 压力的大小对此二项的影响也变得越来越小。
念龙化工-管道氮气置换由郑州念龙化工产品有限公司提供。郑州念龙化工产品有限公司是河南 郑州 ,工业气体的企业,多年来,公司贯彻执行科学管理、---发展、诚实守信的方针,满足客户需求。在念龙化工---携全体员工热情欢迎---垂询洽谈,共创念龙化工美好的未来。
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