1、实验室常用气体为氢气、压缩空气和氮气。有条件的应远离工作点设计具有防爆性能的气体存放室，没有条件的需设置带有全自动报警功能的气瓶安全柜存放。由气瓶室引入的气路，主要的控制阀门和减压阀门都安装在实验室外。实验室气体管路主要材质为不锈钢，安装在---下方，沿着墙走，这样便于检查和维修。此外，中央试验台气体管路的引入通过服务柱;所有的气体管路在工作台上有合适的控制阀门和相应的取气口，便于操作;所有气体管路的连接采用无缝焊接。压缩空气气体在管路上有个过虑杂质和水分的净化装置，排气管路不能并在一 起，盘管由不锈钢材料制成，管道氮气置换，有足够的韧性。减压阀要有标示，标明压力释放级别。所有阀门、调节装置、压力表都由高的不锈钢制成，所 有气体管路有合适的接地保护措施。
作为半导体晶圆代工厂气体的使用者，每一位工作人员都应该在使用前对各种危险气体的安全数据加以了解，并且应该知道如何应对这些气体---时的紧急处理程序。一般来讲，我们将有三重保障来防范万一有意外发生的危险气体---进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路；第二个是持续不断的排气抽风系统（exhaust），管路节点如气瓶柜、vmb、工作台等均具有很强排气抽风系统，以---每一管路节点---都处于负压环境。若发生微量的有毒气体的泄漏，排气抽风系统将------时间抽出；另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统，若发生任何有毒气体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到，管道氮气置换，这个控制系统将根据气体---对人体危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作，---时紧急关闭上游所有气源，同时会驱动中央控制室和现场的相关报警系统lau，甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散，要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程---严格按照所制定的标准作业程序操作，所有这些安全装置都将---人员不会有安全上的顾虑。
输油管道中遇到的流态一般为：热含蜡管道 工作在水力光滑区；较轻的成品油管道工作在混合摩 擦 区 ；高黏油和燃料油管 道工作在层流长输管道 一 般很少工作在粗糙 区。 考虑 到如 果氮气 压力过 高，则相应 的氮气 成本和 放空时 间均 会增加，而且氮 气压力越高 ，作业风 险也越 大 。因此 ，在选 择该工 艺时 需要根据 管道工 艺高程差 综合 考虑 作业 的经济性 ，燃气管道氮气置换，建议在注氮 点与 回油翻越 点 高程 差小于 2801ti的管道上选择该工艺处置方式 。氮气用量 的计算公式为 ： (4) 式 中： 为氮气充满的管容，ms；p 为注入的氮气压 力 ，kpa；p，为常压，101．325kpa。 每吨液 氮转 化为 1个 标准 --- 压、5℃下 的体积 理论上是 808m3，实际操作 中一般取 650m3，根据氮气 用量计算需要液氮的量。 综 上，推 动清 管器 所 需 的压 力越 大，氮 气 用量 越 大 ，在 实际应 用 中要考 虑 注氮压 力 、管道 允许 停输 时 间、排气时间以及氮气用量等经济因素，如果氮气用量 过大 ，则考虑使用其他方法 2 清管器选型与运行控制 2．1 清管器选型 清 管器是利 用流体 压力推动 穿过 管道达 到清管 、 测 量、探 测 或其 他 目的 的设备 (图 1) 。氮气 推 动清 管器回油时利用清管器的隔离功能 ，控制管 内液体 ，减少液体 积存 ，置换管道 内的油 品，管道 氮气置换，因此选择合适 的清管 器对 回油是 否成功起 着关键 性作用 。 由于不同管道的工艺条件不 同，需要考虑以下因 素 ：清 管器 密封 --- ，耐摩 擦 ；如 果采用 反推 清管 器方 式 ，则必须使用可在 管道 内双向运 行的直板清管器 。 2．1．1 清管器类型 根据 回油 方式 的不 同，选用 双 向直板清 管器或 蝶 形清管器 。
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