高纯气休的翰送系统应该包括制造厂的 充灌葬里 ， 贮存容器 钥瓶或贮带 ， 运油描 车 ， 直到使用单位贮存设备、 传翰管道系娜直 到炉前管路 ， 亦即凡与高纯气体相接触的一 切设备、 管路 、 仪表 、 阀 门等 因 为高纯气体 在制取 以后 或纯化提纯 以后 的任何沾污或 输送系统管路阀门的 任何微 小泄 漏 ， 即使是 瞬时的恶化 ， 也是不 准许的 一 且沾 污要 回 复原状就相 当困难 如果是管路受到污染 回 复原状则 需相 当长时 间， 并导致庞 大 摄失 因此人们越来越重视提高高纯气体供应的每 一个环节的---性 和 质 监视 在 国外 ， 除 了改进空分装置直接 制取高纯 气体外 、 还着 重开发了大容童小体积的纯化装 置 随着---集成 电路集成度 的提高又 加 速 了各种气体输送系统的高沽净处理技术方 面做了大量工作 ， 形 成系列 产 品 诸如控制 配管 、 接头 、 阀门的 内表面粗糙度 减少 内表 面积 ， 减少使用另件的 漏 泄及 死 角 ， 改进和 提高洗净方法 ， 加强施工现场尘埃管理 ， ，‘减少 施工 时污垢物的混 人等 总之 ， 对高纯 气体 输送系统的设计 ，管道氮气置换， 施工及管理 日趋严格化 ， 引 起 人 们 普 遍 关 注 ， 我 们 借 鉴 下 面 一 张 关 于可以着出以污染为原因的图率缺陷--- 六成以上 ， 作为污染 的 内容主要是尘块引越 的断路和短路以及其它杂质引起户勺绝缘低劣 等 因此进行高纯气体翰送系统的设计施工 以及加强对这个系统的管理是理所 当然 的事 情 板国 内、 随着 电子产 品 的更新换狡和清 净技术的广泛应用为高纯气体配套的产品和 系统的管配件阀门已 不是不可能的事了 。 然 而要认真解决好高纯气 体的贮存 ， 输送技术 上的难题 ， 寻求更合理的供气方式加速老管 网的改造 ，管道氮气置换， 严格高纯气体输送系 统的管理 ， 找 认为还有 “ 再谈” 和交流的---‘
作为半导体晶圆代工厂气体的使用者，每一位工作人员都应该在使用前对各种危险气体的安全数据加以了解，并且应该知道如何应对这些气体---时的紧急处理程序。一般来讲，我们将有三重保障来防范万一有意外发生的危险气体---进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路；第二个是持续不断的排气抽风系统（exhaust），管路节点如气瓶柜、vmb、工作台等均具有很强排气抽风系统，以---每一管路节点---都处于负压环境。若发生微量的有毒气体的泄漏，排气抽风系统将------时间抽出；另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统，若发生任何有毒气体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到，这个控制系统将根据气体---对人体危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作，---时紧急关闭上游所有气源，同时会驱动中央控制室和现场的相关报警系统lau，甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散，要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程---严格按照所制定的标准作业程序操作，所有这些安全装置都将---人员不会有安全上的顾虑。
1）氮气置换液化气期间，控制高压氮气阀
组开度，严格控制各设备塔压，防止设备超压。
2）氮气置换各设备内部液化气时，应逐个
置换，---在置换期间液化气管线能够大流量贯
通氮气，---置换效果。
3）在置换期间，应派专人紧盯现场液面计，
防止氮气过量至缓冲罐 d-501，造成 d-501 压力
偏高，影响后续设备置换进度。
4）撤压时，应缓慢进行，控制撤压阀门开
度，防止氮气置换液化气后残留的液化气大量气
化，造成设备超压。
5）系统撤压完毕后，可投用各塔、罐底部
伴热，提高液化气挥发速度，减少设备内部液化
气残余量。
6）置换完毕向低瓦系统内撤压时，要缓慢
进行，防止冲击低瓦系统。
分析
与水顶液化气法相比，氮气置换液化气方法
具有明显的优势，管道 氮气置换，
氮气置换液化气的方法不但节约了 500 t 的
新鲜水，同时避免了 500 t 废碱性水的产生，以
及废碱性水带来的影响。
结 语
1）高压氮气置换液化气的工艺方法应用成
功，效果非常理想。不仅了碱性水的产
生以及排放问题，而且解决了因碱性水进入污水
处理场导致外排水不合格的情况，取得了较好的
效益。
2）高浓度的外排废碱性水处理费用约为
1 200 元 /t，燃气管道氮气置换，通过氮气置换液化气的工艺方法，每
次检修可节省费用 60 万元，取得了较好的经济
效益。
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