职业健康安全
(1) 按行业规定穿戴防护用品，着棉质防静电工作服，不得
穿带钉子的鞋。
(2) 配备氧气呼吸器。
消防安全
施工作业现场须用警示带隔离并设置“禁止火源”、“禁止
---”等安全标志，在警戒区内严---火，禁止带入火种、手机，
按规定配备足够灭火器材。
施工操作安全
(1) 提前对所有放散点进行踏勘，---放散点与明火和散
发火花地点、民用建筑的距离分别不小于30m、25m，放散口应
高出地面2.5m 以上，并选择空旷平整地带安装稳固。
(2) 置换前，对管道及放散火炬做好接地处理。
(3) 置换进气端须安装压力表，检测压力。
(4) ---注氮管线与注氮口、放散火炬与放散口连接---。
(5) 浓度检测设备应备两台，一台检测，另一台复检，避免
引起误判。
(6) 施工点位应保持通风 ；施工中应采用防爆型工器具 ；
工具轻拿轻放，防止碰撞产生火花。
(7) 严禁相通的天ran气管道同时进行2 个及以上开口( 含
切割口和放散管进行放散的开口) 的碰口作业 ；严禁作业时氮
气、空气进入调压器( 柜) 下游的低压天ran气管道系统。
作为半导体晶圆代工厂气体的使用者，每一位工作人员都应该在使用前对各种危险气体的安全数据加以了解，并且应该知道如何应对这些气体---时的紧急处理程序。一般来讲，我们将有三重保障来防范万一有意外发生的危险气体---进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路；第二个是持续不断的排气抽风系统（exhaust），管路节点如气瓶柜、vmb、工作台等均具有很强排气抽风系统，以---每一管路节点---都处于负压环境。若发生微量的有毒气体的泄漏，排气抽风系统将------时间抽出；另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统，若发生任何有毒气体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到，这个控制系统将根据气体---对人体危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作，管道氮气置换，---时紧急关闭上游所有气源，同时会驱动中央控制室和现场的相关报警系统lau，甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散，要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程---严格按照所制定的标准作业程序操作，所有这些安全装置都将---人员不会有安全上的顾虑。
重视配管 防尘 ，燃气管道氮气置换方案， 做好配管施 工 的 清沽管 理 ， 对 防尘的措施可 能想出多种 ， 必须从实际 工作做起 省先在切 断 ， 洗净 ， 焊接后等作业 结束时利用塑料薄膜或盲盖 封好 ， 而直至使 用时再次打开 不要放在灰尘发生的地方或 室外 切断后切屑婆立 即去除 阀门的开闭 要迅速 ， 一般应 以 关 闭状态 每 天 工 作结束 应将现场打扫干净 ， 尽盘防止尘埃侵人 获 配管的试验 、 检查和分析 配管连接完 工 以 后 ， 终工序之 一 的耐 压试验和气密性试验 以及检查 和分析 ， 其一 ，般程序如图 所示 飞 气密性和耐压试验基本应为同时并用 试 验 ， 试验条件以气密性试验的 小时放置及 耐压试验的设计压力 倍进行 同时进行 用检漏液 肥皂泡 试验的发泡确认 另外 ， 通过温度补偿的压 降残余压力 率 的标 准 即 以上 为合格 关于配管洁净度 尘埃 测定应为利用 实 际气体 滁外 的测定 ， 基本上 实施设备连 接取出用初级侧阀门总数的 测定 ， 求 出 平均值以判定是否合格 但在阀与测试仪器 连接 中间应连接扩散管以避免尘埃计数器损坏。 至于和含氧量及其它杂质的分析 ， 在有 纯化装 的场合应 以 纯化器 出 口 指标 为基准 在没有现 场分析仪的 ， 可通 过取样 瓶取样送验 。 但取样瓶必须沽净并在充灌时 予叔 充分里换 遴免任何形 式的沽污 ，管道 氮气置换， 以 确 保其实际值 全部试验合格后 ， ’ 还应对配管介质标注 名称和流 向 一般不锈钢配管不涂 漆 ， 但非 不锈钢支承物应涂漆防锈后交付使用验收 三 、 高纯气体输送系统的管理 高纯气翰送系统的建立不仅耗费较大 的 投资和精力 ，管道氮气置换方案， 更重要 的它对生产工艺和 产 品 合格率的影响是 ---的， 要使高纯化系统持 久地 发 挥 效 益 ， 必 须重视 和 加 强 对 它 的 管 理 。 有条件的 ， 建立系统的气体分析盘或 监控盘 ， 用以监视系统 的流食 ， 压力 ， 礴点及 含氧盈 及 凡 以 及装 置的工作 情况和 异 常报警 ， 以便有问题时及时发现 ， 及时调整 建立和健全值班记录制度 ， 对 系 统和 装 置运行工况进行记录 。 定期对系统终端 使用端 进行
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