管道所用材质取决于使用工况。
两方面
1,氮气温度和压力:如果是常温氮气瓶,那就不考虑温度了,如果是液态氮汽化后的气体,需要考虑进口温度和天气状况,这个控制的不是那么---,管道氮气置换,会有误差。另外就是压力:pe管材承受压力范围我不清楚,管道置换氮气,但肯定不如无缝钢管,常温氮气瓶压力---的。
2,使用工况,这个管子在什么环境下使用?设计使用年限?承重吗?潮湿吗?对卫生有要求吗?等等。
综合来说不锈钢无缝管基本在各个方面都比pe管有优势,缺点也很明显就是价格贵,不过一般都是使304材质不锈钢管作为气体传输管道。耐压,耐低温,耐一定高温。
气体管件在安装时,施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行,这样可以减少使用接头的数量,降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接---好以轨道式焊接法(orbital welding)来接合,对于不锈钢的焊接要采用弧焊,并向施焊管内通入同等纯度的气,这样可以---连接的品质,并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳,从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封(metal to metal face seal)的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有vcr 和swagelok两种,具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下,vcr式的接头主要用在制程气体以及危险气体的传输上,管路连接后接头里面的垫圈(gasket)将会适度变形以---管路每秒低于10 -9cc的---气泄漏率(leakage rate)。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合---或气体---。swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及cda等气体的传输上,因为这些气体可以容许一定的---率,所以不常用成本较高且须焊接的vcr式接头。总的来说,管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量,因为大多数的危险气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
置换新建管道 :依次开启放散点5 的火炬放散阀、x1-1,
缓慢开启x3 阀门控制压力和流速,直至检测合格后关闭调压
器进口阀门 ;打开放散点6 的火炬放散阀、x2-1,直至检测合
格后关闭调压器进口阀门,按程序拆除放散点5、6 处放散火炬
并恢复放散口原貌,完全开启x3 阀门。
置换在运支管 :对支管2 进行置换,依次开启放散点3 的
火炬放散阀、调压器进口阀门,缓慢开启zf2 阀门控制压力和
流速,直至检测合格后关闭调压器进口阀门,按程序拆除放散
火炬并恢复放散口原貌,完全开启zf2 阀门 ;同理对支管1 进
行置换。完成后,燃气管道氮气置换,对碰口点、拆卸过的管件进行检漏,确认无泄
漏后方可恢复供气。
恢复供气
开启gf2、gf3、x1、x2 阀门,恢复并网后整个中压管网正
常供气 ;对调压器后的低压管网,严格按照低压系统恢复供气
程序进行恢复供气作业。
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