注氮过程险的预防
为避免注氮过程中的风险，施工人员应首先将清管器置入
管道，继而逐渐排出管道中的氧气，打开出站阀门，注入
氮气。在此基础上，管道氮气置换，应采用以下手段对风险进行预防 ：(1) 人的
不安全行为预防 ：确定操作员工的精神状态及技能能力是否
满足工作需要。(2) 工艺检查 ：施工人员应于氮气置换前，对注
氮设备进行检查，判断设备连接是否完好，避免发生氮气泄露，
以免导致高浓度的氮气对施工人员的安全造成威胁。(3) 现场
工作环境检查，密闭环境或氮气容集聚的场加强通风，或采取
强制通风措施。(4) 应急措施--- ：工作现场有相应的应急预案
并有与之对应的应急救援器材。
作为半导体晶圆代工厂气体的使用者，每一位工作人员都应该在使用前对各种危险气体的安全数据加以了解，并且应该知道如何应对这些气体---时的紧急处理程序。一般来讲，我们将有三重保障来防范万一有意外发生的危险气体---进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路；第二个是持续不断的排气抽风系统（exhaust），管路节点如气瓶柜、vmb、工作台等均具有很强排气抽风系统，以---每一管路节点---都处于负压环境。若发生微量的有毒气体的泄漏，排气抽风系统将------时间抽出；另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统，若发生任何有毒气体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到，这个控制系统将根据气体---对人体危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作，---时紧急关闭上游所有气源，同时会驱动中央控制室和现场的相关报警系统lau，甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散，要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程---严格按照所制定的标准作业程序操作，管道氮气置换，所有这些安全装置都将---人员不会有安全上的顾虑。
下面以某城镇新建管道与在运中压管网碰口并网置换作
业为例予以说明。此次作业需将500m 新建de160 管道与在运
de160 干管、2 条de110 支管碰口并网，增加支管供气气源形成
环网供气。示意图如下 ：
其作业程序为 ：在运管网 ：停气放散***氮气置换 ；
新建管道与在运管网: 碰口连接***氮气置换空气 ；并网后的在
运管网和新建管道: 置换氮气***恢复供气。
5.1 停气放散
待准备工作就绪，按照置换方案关闭干管来气阀门gf1、
gf2、gf3 及全部调压器进、出口阀门( 并经确认) 暂停供气 ；
后在gf1-1 阀门( 放散点1) 处连接放散火炬并开启gf1-1 和
火炬放散阀进行燃放作业，待放散至表压为零且火焰
自行熄灭后，关闭火炬放散阀和gf1-1 完成放散，管道置换氮气，拆除放散火
炬，开始进行氮气置换作业。
5.2 氮气置换天ran气
在gf1-1 阀门( 注氮点) 处连接注氮管线，长输管道氮气置换，同时在干管
和支管末端( 放散点2、3、4) 调压器进口阀门后放散口处连
接放散火炬。先置换干管 ：关闭zf1、zf2 阀门，从放散口向注
氮口方向依次开启放散点4 的火炬放散阀、调压器进口阀门、
gf1-1 阀门，按前述置换要求参数进行注氮。直至检测合格后
关闭调压器进口阀门、火炬放散阀、gf1-1；同理分别对支管2、
1 依次置换合格。完成氮气置换后，方可进行新建管道
与在运管网碰口施工。
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