管道氮气置换-念龙化工-管道氮气置换方案

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    2020-11-26

张经理
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实验室气路安装3

(1)性气体

把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的sih4气体只要与空气接触就会燃烧,管道氮气置换,当环境温度达到一定时,ph3与b2 h6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围,管道氮气置换方案,即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧危险性就越高,如b 2h6的上限为98%,下限为0.9%。属于气体有h 2,nh3,ph3,dcs,clf3 。

(2)毒性气体(toxic gas):半导体制造行业中使用的气体很多都是对人体有害、有毒的。其中又以ash3, b 2h6,ph3等气体的毒性---大,它们的阈限值tlv(threshold limited valve)分别只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微,因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求---的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。no, c4f6,c5f8 ,nf3,ch 3f等都属于毒性气体。

(3)腐蚀性气体(corrosive gas):这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属,但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性,如hcl, hf, pcl3, sif4,clf3,wf6等。

(4)惰性气体(inert gas): 隋性气体本身一般不会直接对人体产生伤害,在气体传输过程中,相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性,在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有c2 f6,管道 氮气置换,cf4,sf6,chf 3等。

(5)氧化性气体(oxide gas):这类气体有较强的氧化性,一般同时具有其他特性,如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有clf3 ,cl2,nf3等。


高纯气体输送系统配管施工要领

为了维护高纯气 体的洁净度 , 、 我们需要 防止配管在施工时尘 埃 的混人 , 管材切割 时 产生的切屑以及油垢的附着和清洗时各类药 剂的残存 , 当然 , 在施工时要完全防止尘埃的 污染是件困难的事 。 祖我 们在 防止 阀门, 管 子 内壁 附着灰尘 , 使其降低至 小限方面 应 尽努力 为此 , 在现场施 工 时 已经经过 清洁处 理 的 配 管 ,管道氮气置换, 阀 门等尽 量 在 使用时开 包。 如果是现场清洗干净的亦应及时用塑料 袋包封保管 整个系统配管施工 结束 , 进行 全系统的气密性试验和耐压试验, 并对全 系 统进行大流量吹扫 , 准备各种检查 , 配管施工 的一般工序

验收 现场对管子 , 接头、 麟勺等进行 外观检查完好, 并确认其规格、 奴量 、 对 国外 购置的都件等 , 还要确认其拭拇单等 。 然后 进行分类存放保管。加工 、 切 断 。 对 于 市 场不 销 瞥 的 管 接件和另件要事先组织加工使工 程 不致等 待。 切断管子 , 必须按需要尺寸而定 , 必须严 聆防止管子变形及修整毛初, 宜用高速切管 机 , 使切断端面垂直 , 、 洗净 。 对于 制造厂洗净的抛光管而保 管好的, 不需现场洗净, 对 于 加工 , 切 断的管 子 , 配件必须洗净处理 。 国外对于 半导 体行 业用的高纯气体系统的管道 , 时门及配件, 有 现成的系列产品和 公 司 首先 , 他们 可 以向钢管生产广订购经过一定处理的坯管再 经过机械抛光 脱脂处理六 酸洗 电抛光 , 化学抛光然后在洁净条件下 经高纯水清 洗、 脱水 、供干包封 目前国 内也有经机械抛 光等处理 的不锈钢系列管道 供应 在 八 四 年 , 上无十西厂高纯气站改造工程 中, 我们qua面来用不锈钢管 自---洗即化学擂蚀方法收 到了较好的效果 。 其方法是 , 攀内壁擦试 脱脂处理 、 水冲洗一 化学腐蚀一 水洗 纯 水冲洗‘ 脱水 高纯 从 吹于一 封存 , 脱脂 用弓或 , 应在通风条件下进 行 腐蚀液配 比是 一 一 一 用和的混合液对不锈钢内壁 表面在拉伸过程中混人的尘埃, 油垢等杂质 离子进行腐蚀剥离 其 中时间 的掌握是 关 键 , 杏则将增加内壁的粗糙。


1)氮气置换液化气期间,控制高压氮气阀

组开度,严格控制各设备塔压,防止设备超压。

2)氮气置换各设备内部液化气时,应逐个

置换,---在置换期间液化气管线能够大流量贯

通氮气,---置换效果。

3)在置换期间,应派专人紧盯现场液面计,

防止氮气过量至缓冲罐 d-501,造成 d-501 压力

偏高,影响后续设备置换进度。

4)撤压时,应缓慢进行,控制撤压阀门开

度,防止氮气置换液化气后残留的液化气大量气

化,造成设备超压。

5)系统撤压完毕后,可投用各塔、罐底部

伴热,提高液化气挥发速度,减少设备内部液化

气残余量。

6)置换完毕向低瓦系统内撤压时,要缓慢

进行,防止冲击低瓦系统。

 分析

与水顶液化气法相比,氮气置换液化气方法

具有明显的优势,

氮气置换液化气的方法不但节约了 500 t 的

新鲜水,同时避免了 500 t 废碱性水的产生,以

及废碱性水带来的影响。

结 语

1)高压氮气置换液化气的工艺方法应用成

功,效果非常理想。不仅了碱性水的产

生以及排放问题,而且解决了因碱性水进入污水

处理场导致外排水不合格的情况,取得了较好的

效益。

2)高浓度的外排废碱性水处理费用约为

1 200 元 /t,通过氮气置换液化气的工艺方法,每

次检修可节省费用 60 万元,取得了较好的经济

效益。


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