(1)性气体
把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的sih4气体只要与空气接触就会燃烧,管道氮气置换,当环境温度达到一定时,ph3与b2 h6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围,管道氮气置换方案,即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧危险性就越高,如b 2h6的上限为98%,下限为0.9%。属于气体有h 2,nh3,ph3,dcs,clf3 。
(2)毒性气体(toxic gas):半导体制造行业中使用的气体很多都是对人体有害、有毒的。其中又以ash3, b 2h6,ph3等气体的毒性---大,它们的阈限值tlv(threshold limited valve)分别只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微,因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求---的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。no, c4f6,c5f8 ,nf3,ch 3f等都属于毒性气体。
(3)腐蚀性气体(corrosive gas):这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属,但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性,如hcl, hf, pcl3, sif4,clf3,wf6等。
(4)惰性气体(inert gas): 隋性气体本身一般不会直接对人体产生伤害,在气体传输过程中,相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性,在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有c2 f6,管道 氮气置换,cf4,sf6,chf 3等。
(5)氧化性气体(oxide gas):这类气体有较强的氧化性,一般同时具有其他特性,如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有clf3 ,cl2,nf3等。
为了维护高纯气 体的洁净度 , 、 我们需要 防止配管在施工时尘 埃 的混人 , 管材切割 时 产生的切屑以及油垢的附着和清洗时各类药 剂的残存 , 当然 , 在施工时要完全防止尘埃的 污染是件困难的事 。 祖我 们在 防止 阀门, 管 子 内壁 附着灰尘 , 使其降低至 小限方面 应 尽努力 为此 , 在现场施 工 时 已经经过 清洁处 理 的 配 管 ,管道氮气置换, 阀 门等尽 量 在 使用时开 包。 如果是现场清洗干净的亦应及时用塑料 袋包封保管 整个系统配管施工 结束 , 进行 全系统的气密性试验和耐压试验, 并对全 系 统进行大流量吹扫 , 准备各种检查 , 配管施工 的一般工序
验收 现场对管子 , 接头、 麟勺等进行 外观检查完好, 并确认其规格、 奴量 、 对 国外 购置的都件等 , 还要确认其拭拇单等 。 然后 进行分类存放保管。加工 、 切 断 。 对 于 市 场不 销 瞥 的 管 接件和另件要事先组织加工使工 程 不致等 待。 切断管子 , 必须按需要尺寸而定 , 必须严 聆防止管子变形及修整毛初, 宜用高速切管 机 , 使切断端面垂直 , 、 洗净 。 对于 制造厂洗净的抛光管而保 管好的, 不需现场洗净, 对 于 加工 , 切 断的管 子 , 配件必须洗净处理 。 国外对于 半导 体行 业用的高纯气体系统的管道 , 时门及配件, 有 现成的系列产品和 公 司 首先 , 他们 可 以向钢管生产广订购经过一定处理的坯管再 经过机械抛光 脱脂处理六 酸洗 电抛光 , 化学抛光然后在洁净条件下 经高纯水清 洗、 脱水 、供干包封 目前国 内也有经机械抛 光等处理 的不锈钢系列管道 供应 在 八 四 年 , 上无十西厂高纯气站改造工程 中, 我们qua面来用不锈钢管 自---洗即化学擂蚀方法收 到了较好的效果 。 其方法是 , 攀内壁擦试 脱脂处理 、 水冲洗一 化学腐蚀一 水洗 纯 水冲洗‘ 脱水 高纯 从 吹于一 封存 , 脱脂 用弓或 , 应在通风条件下进 行 腐蚀液配 比是 一 一 一 用和的混合液对不锈钢内壁 表面在拉伸过程中混人的尘埃, 油垢等杂质 离子进行腐蚀剥离 其 中时间 的掌握是 关 键 , 杏则将增加内壁的粗糙。
1)氮气置换液化气期间,控制高压氮气阀
组开度,严格控制各设备塔压,防止设备超压。
2)氮气置换各设备内部液化气时,应逐个
置换,---在置换期间液化气管线能够大流量贯
通氮气,---置换效果。
3)在置换期间,应派专人紧盯现场液面计,
防止氮气过量至缓冲罐 d-501,造成 d-501 压力
偏高,影响后续设备置换进度。
4)撤压时,应缓慢进行,控制撤压阀门开
度,防止氮气置换液化气后残留的液化气大量气
化,造成设备超压。
5)系统撤压完毕后,可投用各塔、罐底部
伴热,提高液化气挥发速度,减少设备内部液化
气残余量。
6)置换完毕向低瓦系统内撤压时,要缓慢
进行,防止冲击低瓦系统。
分析
与水顶液化气法相比,氮气置换液化气方法
具有明显的优势,
氮气置换液化气的方法不但节约了 500 t 的
新鲜水,同时避免了 500 t 废碱性水的产生,以
及废碱性水带来的影响。
结 语
1)高压氮气置换液化气的工艺方法应用成
功,效果非常理想。不仅了碱性水的产
生以及排放问题,而且解决了因碱性水进入污水
处理场导致外排水不合格的情况,取得了较好的
效益。
2)高浓度的外排废碱性水处理费用约为
1 200 元 /t,通过氮气置换液化气的工艺方法,每
次检修可节省费用 60 万元,取得了较好的经济
效益。
管道氮气置换-念龙化工-管道氮气置换方案由郑州念龙化工产品有限公司提供。郑州念龙化工产品有限公司在工业气体这一领域倾注了诸多的热忱和热情,念龙化工一直以客户为中心、为客户创造价值的理念、以品质、服务来赢得市场,衷心希望能与社会各界合作,共创成功,共创。相关业务欢迎垂询,联系人:张经理。
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